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超聲波液位傳感器在半導(dǎo)體純水儲存罐液位變化監(jiān)測應(yīng)用方案

2021-10-29 10:04:27來源:網(wǎng)絡(luò)作者:
  • 導(dǎo)讀:
  • 伴隨著芯片的集成度越來越高,半導(dǎo)體制造的先進(jìn)程度也逐漸提升。
  • 關(guān)鍵字:
  • 半導(dǎo)體

伴隨著芯片的集成度越來越高,半導(dǎo)體制造的先進(jìn)程度也逐漸提升。在芯片半導(dǎo)體的生產(chǎn)加工過程中要不斷用水清洗,對水質(zhì)的純度要求特別高,要求達(dá)到ppb級別,所以為了保證生產(chǎn)出超大規(guī)模的集成電路,除高純原材料、高純氣體、高純化學(xué)藥品外,超純水也是其中最關(guān)鍵的因素之一。

半導(dǎo)體包括芯片,存儲器等產(chǎn)品在生產(chǎn)過程中需要經(jīng)歷上百道清洗程序,而為保證半導(dǎo)體精度,其工藝技術(shù)中要求用到純水清洗,清洗所需的超純水必須達(dá)到電子級,為了避免其中混入雜質(zhì),而影響半導(dǎo)體產(chǎn)品功能,進(jìn)而影響半導(dǎo)體產(chǎn)品的性能及壽命。因此對工業(yè)清洗半導(dǎo)體的純水主要儲存在其內(nèi)部的儲水罐中對于其液位的控制非常重要,要求純水的液位高度保持恒定。

半導(dǎo)體生產(chǎn)線儲水罐里面的原料是純水,透明且不帶導(dǎo)電性,要求無污染,還要求傳感器要做到精確檢測;除此之外存放純水的儲水罐是個封閉的容器,有些儲水罐里面帶有攪拌機(jī)構(gòu)以及進(jìn)水泵和出水泵,導(dǎo)致其液位或者料位在攪拌的過程中會波動,這也為準(zhǔn)確測量液位或料位帶來困難。

為客戶提供的超聲波傳感器恰恰解決了這個問題,超聲波傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)非接觸測量,不僅做到非接觸測量,減少二次污染,還有超聲波傳感器特有的自適應(yīng)功能及濾波功能,達(dá)到精準(zhǔn)的液位檢測。

利用超聲波傳感器實(shí)時監(jiān)控液位的高度,以此來保持儲水罐的水位高度恒定,從而跟進(jìn)純水的特性。而且是透明的特殊這一特性,其它的傳感器也很難做到如此有效精確檢測。MaxBotix 液位超聲波傳感器 - MB7389 MB7380對于需要使用的應(yīng)用程序,hrxl-maxsonar-wr傳感器是一種具有成本效益的解決方案。精度范圍-查找,低電壓操作,節(jié)省空間,低成本,和IP67的天氣預(yù)報(bào)阻力。

hrxl-maxsonar-wr傳感器線提供高精度高分辨率超聲接近在空氣中探測和測距。該傳感器線的特點(diǎn)是1毫米分辨率、目標(biāo)尺寸和操作電壓補(bǔ)償。為了提高準(zhǔn)確度,更好地拒絕外部噪聲源,內(nèi)部速度的溫度補(bǔ)償以及可選的外部溫度補(bǔ)償。hrxl-maxsonar-wr/wrc模型是可用的在5米或10米的模型中。這個超聲傳感器可以探測到從1毫米到30厘米的物體的物體,范圍不超過30厘米的物體通常被報(bào)告為30厘米。接口輸出格式是脈沖在RS232(MB7360系列)或TTL(MB7380系列)中,寬度、模擬電壓和數(shù)字串行。工廠校準(zhǔn)是標(biāo)準(zhǔn)的。

MaxBotix 液位超聲波傳感器 MB7389 MB7380 產(chǎn)品特點(diǎn):

工廠校準(zhǔn)波束寬度

低操作電壓

2.7 v至5.5 v

MaxBotix 液位超聲波傳感器 MB7389 MB7380 產(chǎn)品應(yīng)用:

倉位測量

油罐液位測量

(關(guān)鍵字:半導(dǎo)體)

(責(zé)任編輯:01181)
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