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SRII重磅亮相CICD 2021,以先進(jìn)ALD技術(shù)賦能第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)

2021-11-11 9:52:13來(lái)源:網(wǎng)絡(luò)作者:
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  • 功率器件作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的重要組成部分,擁有非常廣泛的技術(shù)分類以及應(yīng)用場(chǎng)景。
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  • 半導(dǎo)體

功率器件作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的重要組成部分,擁有非常廣泛的技術(shù)分類以及應(yīng)用場(chǎng)景。例如,傳統(tǒng)的硅基二極管、IGBT和MOSFET等產(chǎn)品經(jīng)過(guò)數(shù)十年的發(fā)展,占據(jù)了絕對(duì)領(lǐng)先的市場(chǎng)份額。不過(guò),隨著新能源汽車、數(shù)據(jù)中心、儲(chǔ)能、手機(jī)快充等應(yīng)用的興起,擁有更高耐壓等級(jí)、更高開關(guān)頻率、更高性能的新型SiC、GaN等第三代半導(dǎo)體功率器件逐漸嶄露頭角,獲得了業(yè)界的持續(xù)關(guān)注。

如今,在生產(chǎn)工藝不斷優(yōu)化、成本持續(xù)降低的情況下,老牌大廠與初創(chuàng)企業(yè)紛紛加碼第三代半導(dǎo)體,SiC和GaN功率器件開始投入批量應(yīng)用,并迎來(lái)了關(guān)鍵的產(chǎn)能爬坡階段。作為半導(dǎo)體制造業(yè)的關(guān)鍵參與者,業(yè)界領(lǐng)先的ALD設(shè)備制造商和服務(wù)商青島四方思銳智能技術(shù)有限公司日前重磅亮相2021年中國(guó)集成電路制造年會(huì)(CICD),向業(yè)界展示了ALD技術(shù)在功率半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)的創(chuàng)新應(yīng)用,共同探討新開局新挑戰(zhàn)下的行業(yè)發(fā)展新機(jī)遇。

縱觀第三代半導(dǎo)體功率應(yīng)用,GaN無(wú)疑是率先突破的細(xì)分市場(chǎng)。根據(jù)Yole Développement的最新調(diào)研報(bào)告,預(yù)計(jì)2026年全球GaN功率器件的市場(chǎng)規(guī)模將增長(zhǎng)至11億美元,年均復(fù)合增長(zhǎng)率達(dá)到70%,其中手機(jī)快充等消費(fèi)市場(chǎng)是未來(lái)2-3年的主要驅(qū)動(dòng)力,新能源汽車OBC充電器、工業(yè)領(lǐng)域逆變器、數(shù)據(jù)中心高效電源等應(yīng)用則緊隨其后。

在CICD同期舉行的“功率及化合物半導(dǎo)體”專題論壇上,思銳智能總經(jīng)理聶翔先生在演講中表示:“面對(duì)來(lái)自市場(chǎng)端的巨大需求,無(wú)論是外延廠還是Fab都在積極擴(kuò)建當(dāng)前產(chǎn)能。思銳智能作為生產(chǎn)設(shè)備供應(yīng)商,更能深切地體會(huì)到行業(yè)產(chǎn)能擴(kuò)充在過(guò)去的1-2年里有著明顯的增速。對(duì)此,我們很早就推出了量產(chǎn)型ALD沉積設(shè)備——Transform™系列,廣泛布局本土功率市場(chǎng),助力中國(guó)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)能擴(kuò)充需求。不久前,我們成功交付了一套最新的Beneq Transform™ Lite設(shè)備給到中國(guó)市場(chǎng)的第三代半導(dǎo)體龍頭客戶,幫助其加速GaN產(chǎn)線的擴(kuò)建。”

據(jù)了解,思銳智能的先進(jìn)ALD鍍膜工藝可顯著改善GaN器件的綜合性能、并已達(dá)到量產(chǎn)化的要求。而ALD技術(shù)能夠以一個(gè)原子的厚度(0.1nm)為精度實(shí)現(xiàn)基底表面的鍍膜,這是區(qū)別于其他沉積工藝的一大優(yōu)勢(shì),尤其是在復(fù)雜的3D結(jié)構(gòu)上可實(shí)現(xiàn)高保形、高質(zhì)量的薄膜生長(zhǎng),同時(shí)ALD具有較寬的工藝窗口,也支持多種薄膜疊層鍍膜。對(duì)于SiC、GaN等功率與化合物材料,其器件3D結(jié)構(gòu)越來(lái)越復(fù)雜,對(duì)薄膜要求也越來(lái)越高,因此ALD技術(shù)成為了該領(lǐng)域的新寵。

產(chǎn)研合作致力創(chuàng)新落地

針對(duì)業(yè)界大熱的第三代半導(dǎo)體應(yīng)用,思銳智能不僅在GaN器件的ALD鍍膜上實(shí)現(xiàn)了量產(chǎn)化的解決方案,也在持續(xù)挖掘ALD技術(shù)之于傳統(tǒng)硅基,SiC,GaN器件的創(chuàng)新應(yīng)用潛力。例如,思銳智能旗下子公司Beneq立足于歐洲,已攜手眾多研究機(jī)構(gòu)開展以上這些領(lǐng)域的技術(shù)合作,致力于量產(chǎn)化的創(chuàng)新。“當(dāng)然,我們也非常希望能夠與國(guó)內(nèi)的機(jī)構(gòu)或者行業(yè)客戶一起開展聯(lián)合研發(fā)工作,通過(guò)采用基于ALD技術(shù)的創(chuàng)新應(yīng)用,實(shí)現(xiàn)提升器件性能以及易于量產(chǎn)的目的。”聶翔表示。

與此同時(shí),思銳智能正在不斷拓展旗下BeneqTransform™系列產(chǎn)品,進(jìn)而應(yīng)對(duì)愈加復(fù)雜的半導(dǎo)體鍍膜需求,全面對(duì)標(biāo)集成電路、功率與化合物半導(dǎo)體和泛半導(dǎo)體應(yīng)用。自2019年起,在歐洲,美國(guó)、日本、中國(guó)大陸和臺(tái)灣地區(qū)內(nèi)全球知名的半導(dǎo)體客戶量產(chǎn)線上投入使用,有著充分驗(yàn)證的工藝穩(wěn)定性和設(shè)備穩(wěn)定性。同時(shí),可以提供行業(yè)最完善的成熟量產(chǎn)工藝包,涵蓋各類氧化物、氮化物等。截至目前,Transform™系列產(chǎn)品已獲得全球多個(gè)客戶的訂單。

(關(guān)鍵字:半導(dǎo)體)

(責(zé)任編輯:01181)
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