在下周即將舉行的 SEMICON China 展會期間，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司（以下簡稱“中微”）將正式發(fā)布多反應(yīng)器金屬有機(jī)化合物氣相沉積設(shè)備（MOCVD），并首次進(jìn)入半導(dǎo)體照明市場。Prismo D-Blue™ MOCVD 設(shè)備可以實(shí)現(xiàn)復(fù)雜的氮化鎵、銦鎵氮、鋁鎵氮超薄層結(jié)構(gòu)的大批量生產(chǎn)，這些超薄層結(jié)構(gòu)對于高亮度 LED 是必需的。中微的 MOCVD 設(shè)備不僅具有精準(zhǔn)的參數(shù)控制、全自動化處理和獨(dú)特的緊湊設(shè)計等特點(diǎn)，而且擁有高生產(chǎn)率、高產(chǎn)能和低成本投入，是 LED 芯片制造過程中必不可少的新一代 MOCVD 設(shè)備。

關(guān)于中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司

中微公司致力于為全球芯片生產(chǎn)廠商和相關(guān)高科技領(lǐng)域的世界領(lǐng)先公司提供一系列高端的芯片生產(chǎn)設(shè)備。公司目前主要提供等離子體刻蝕設(shè)備和硅通孔（TSV）刻蝕設(shè)備，用于國際一線客戶22納米及以下的芯片加工制造。目前，中微已有200多個刻蝕反應(yīng)臺在亞洲地區(qū)眾多國際領(lǐng)先的生產(chǎn)線上運(yùn)行。已有 MOCVD 設(shè)備在國內(nèi)一家著名的 LED 廠家運(yùn)行。

硬件優(yōu)勢：中微具有自主知識產(chǎn)權(quán)的 MOCVD 設(shè)備可以容納多達(dá)4個反應(yīng)器，每個反應(yīng)器都可以獨(dú)立控制。這一創(chuàng)新設(shè)計可以實(shí)現(xiàn)卓越的生產(chǎn)靈活性。它也是該類設(shè)備中唯一帶有這一特性的產(chǎn)品，也就是說，中微的 MOCVD 設(shè)備可以以并行或者串行模式運(yùn)行，這就減少了交叉污染，并且保證了晶體的高質(zhì)量，這是先進(jìn)的 LED 器件所必需的。中微的MOCVD設(shè)備在占地面積上也有相當(dāng)?shù)膬?yōu)勢，它比競爭者的單反應(yīng)器機(jī)臺的占地面積小了近30%，因此，Prismo D-Blue對于目前的 LED 芯片生產(chǎn)線無疑是占地面積更小的絕佳選擇。

設(shè)備優(yōu)異，市場廣闊，時機(jī)成熟：進(jìn)入半導(dǎo)體照明市場對于中微而言是水到渠成的一步。作為一個新興的創(chuàng)新領(lǐng)軍者，中微為全球半導(dǎo)體制造商提供了先進(jìn)的工藝技術(shù)和設(shè)備。目前，中微已有超過200個刻蝕反應(yīng)臺在亞洲16條國際領(lǐng)先的半導(dǎo)體生產(chǎn)線上運(yùn)行。中微在硅技術(shù)上積累的豐富經(jīng)驗(yàn)和工藝知識，以及它嚴(yán)謹(jǐn)?shù)难邪l(fā)協(xié)議和材料工程背景，造就了一系列半導(dǎo)體制造前端設(shè)備�，F(xiàn)在，中微又將這些運(yùn)用在了 Prismo D-Blue 的研發(fā)上。中微新的 LED 客戶還將受益于公司嚴(yán)格的供應(yīng)商管理協(xié)議。

現(xiàn)在對于一個新的 MOCVD 設(shè)備制造商來說也是一個良好的發(fā)展時機(jī)，尤其對于研發(fā)和制造中心在上海的制造商來說。根據(jù)法國市場研究機(jī)構(gòu) Yole Development 預(yù)測，到2017年，MOCVD 設(shè)備的市場規(guī)模預(yù)計將達(dá)到43億美元。中國在全球制造業(yè)中仍將占主導(dǎo)地位。燈泡價格將下跌，LED 照明將取代傳統(tǒng)白熾燈。燈泡變得更便宜，當(dāng)然就意味著 LED 制造商能獲取的利潤更緊縮，這就使得設(shè)備制造商提高生產(chǎn)效率比以往任何時候都顯得尤為重要。中微的 MOCVD 設(shè)備具有極高的生產(chǎn)效率，在這樣的市場環(huán)境中則更顯其優(yōu)勢。

“進(jìn)入半導(dǎo)體照明市場是公司發(fā)展策略中的一個重要組成部分，”中微資深副總裁兼 MOCVD 產(chǎn)品事業(yè)群總經(jīng)理杜志游博士說，“我們專業(yè)的 MOCVD 技術(shù)團(tuán)隊(duì)建立了一個優(yōu)勢明顯、極具靈活性的 MOCVD 平臺，它具有其獨(dú)特創(chuàng)新性，可以解決復(fù)雜技術(shù)和生產(chǎn)方面帶來的挑戰(zhàn)。能夠?yàn)榭蛻籼峁└弋a(chǎn)能低成本的技術(shù)，用于他們先進(jìn)的 LED 器件制造，對此我們感到非常興奮。”

Prismo D-Blue具有卓越的工藝性能和生產(chǎn)效率：中微的 Prismo 機(jī)臺可以同時加工216片2英寸晶圓。它的工藝能力還能延展到生長4英寸、6英寸和8英寸外延晶片。除了具有多反應(yīng)器結(jié)構(gòu)的優(yōu)點(diǎn)可以使其加工靈活性達(dá)到最大化以外，Prismo D-Blue 在每個關(guān)鍵性能指標(biāo)上的表現(xiàn)都十分出色。在馬拉松測試中，它表現(xiàn)出了優(yōu)異的片內(nèi)和片與片之間的均勻性以及很好的重復(fù)性。這些結(jié)果都是在整個外延晶片加工的過程中未作任何工藝參數(shù)調(diào)整而得出的。外延晶片加工的過程對于反應(yīng)腔室表面的條件、化學(xué)氣體環(huán)境、溫度轉(zhuǎn)換控制和其他可變因素都極為敏感，因此在這種加工過程中，能達(dá)到持續(xù)的重復(fù)性確實(shí)有它獨(dú)到的一面。

在上述馬拉松測試中，Prismo D-Blue 從未發(fā)生過任何異常中斷，中微通過對工藝參數(shù)現(xiàn)場實(shí)時的監(jiān)控實(shí)現(xiàn)了高可靠性。這種高可靠性還得益于一系列復(fù)雜的軟件程序、先進(jìn)的傳輸模塊、流程自動化和控制技術(shù)。這些同樣也是使得中微的半導(dǎo)體前端加工設(shè)備被業(yè)界廣為認(rèn)可的技術(shù)。

Prismo D-Blue 還被進(jìn)一步優(yōu)化以方便用戶更易操作與維護(hù)。這對于一個發(fā)展迅速并看重成本的 LED 芯片制造商來說是至關(guān)重要的。卓越的加工性能和正�？蛇\(yùn)行時間可以拉大服務(wù)之間的差距，而新穎的設(shè)計特點(diǎn)則能夠使得設(shè)備維護(hù)更加簡便易行。同時，自動化、可編程的維護(hù)程序使得反應(yīng)腔開關(guān)操作更加安全、快捷、可預(yù)測并且不易出錯。

Prismo D-Blue 目前已擁有100多項(xiàng)專利（包括授權(quán)和未授權(quán)專利）以保護(hù)其獨(dú)特的創(chuàng)新性。此外，它還遵循了半導(dǎo)體制造規(guī)則并完全符合 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)。

中微公司將于SEMICON China展會期間召開 Prismo D-Blue 產(chǎn)品發(fā)布會，僅限受邀者參加。詳情請聯(lián)系 Lorentz Tsai（lorentztsai@amecnsh.com）。

Prismo D-Blue 是中微公司已申請的注冊商標(biāo)。

(關(guān)鍵字：鎵 半導(dǎo)體照明 中微半導(dǎo)體)